紫铜管棒材

溅射靶材用无氧铜管

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我公司生产的无氧铜管靶料具有以下特点：

1.高纯度，铜材纯度可达到3N7或4N以上

2.高致密度，材料经过大加工率的压力加工，使得成份与组织结构均匀;

3.晶粒尺寸细小分布均匀，且大小控制在50-200μm；

分类：紫铜管棒材

描述

表1：高纯铜TU1（C10200）化学成份（Chemical composition）

元素Elements

Cu+Ag

P

Bi

Sb

As

Fe

Ni

Pb

Sn

S

Zn

O

含量（%）Contents

≧

99.97

≦

0.0002

≦0.001

≦0.002

≦

0.002

≦0.004

≦0.002

≦0.003

≦0.002

≦0.004

≦

0.003

≦

0.002

表2：高纯铜TU0（C10100）化学成份（Chemical composition）

元素Elements	Cu	P	Ag	Bi	Sb	As	Fe	Ni	Pb
含量（%）Contents	≧99.99	≦0.0003	≦0.0025	≦0.0001	≦0.0004	≦0.0005	≦0.0010	≦0.0010	≦0.0005
元素Elements	Sn	S	Zn	O	Se	Te	Mn	Cd	/
含量（%）Contents	≦0.0002	≦0.0015	≦0.0001	≦0.0010	≦0.0003	≦0.0002	≦0.0002	≦0.0001	/

品名	牌号	壁厚（mm）	晶粒度要求（μm）
管靶	C1020 C10200 TU1	≤20	≤80
			≤200
			≤300
		＞20	≤80
			≤200
			≤300
	C10100 LC1012 其它Cu+Ag≥99.99材料	≤20	≤0.08
			≤0.2
			≤0.3
		＞20	≤0.08
			≤0.2
			≤0.3