溅射靶材用无氧铜板

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我公司采用先进的铜铝压延加工设备，成熟的加工工艺，可为各种规格的铜铝靶材提供靶材（板靶及铜背板坯料。其广泛用于平面显示器镀膜、光伏/光热镀膜和建筑/汽车玻璃大面积镀膜等行业，被国内外靶材制造商广泛使用。

我公司生产的铜、铝靶材及背板坯料具有以下特点：

1.高纯度，铜材纯度可达到3N7或4N以上，铝材可达到5N以上；

2.高致密度，材料经过大加工率的压力加工，使得成份与组织结构均匀;

3.晶粒尺寸细小分布均匀，且大小控制在50-200μm；

4.良好的板型平整度和尺寸公差.

分类：

表1：高纯铜TU3（C10200）化学成份（Chemical composition）

元素Elements Cu+Ag P Bi Sb As Fe Ni Pb Sn S Zn O
含量（%）Contents ≧

99.97

 ≦

0.0002

 ≦0.001 ≦0.002 ≦

0.002

 ≦0.004 ≦0.002 ≦0.003 ≦0.002 ≦0.004 ≦

0.003

 ≦

0.002

 

表2：高纯铜TU00（C10100）化学成份（Chemical composition）

 

元素Elements Cu P Ag Bi Sb As Fe Ni Pb
含量（%）Contents ≧99.99 ≦0.0003 ≦0.0025 ≦0.0001 ≦0.0004 ≦0.0005 ≦0.0010 ≦0.0010 ≦0.0005
元素Elements Sn S Zn O Se Te Mn Cd /
含量（%）Contents ≦0.0002 ≦0.0015 ≦0.0001 ≦0.0010 ≦0.0003 ≦0.0002 ≦0.0002 ≦0.0001 /

 

表3：铜板靶、铜背板所供产品规格（Product specifications）

 

品种

Type

 牌号

Alloys

 规格（mm）Dimension 执行标准

Standard
厚度Thickness 宽度Width 长度Length
高纯铜板Copper plates

 

 TU00(C10100)

TU1(C10200)

 ＞3.0～60 100～3000 ≤6000 企业专用标准

或双方协商Supplier’s standard or mutual consultation.

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